洗浄剤
洗浄剤
当社製洗浄剤は主にLEDウェハー裏面の研磨加工、ポリッシュ後のワックス洗浄工程に最適です。水溶性(DW-S1)とオイル性(DW-Y1)二種類を扱っております。
•DW-S1:ワックス除去が早い、加工寿命が長い。
•DW-Y1:油脂に対して溶解し易い、加工寿命が長い、半導体材料、光学材料に腐蝕性がない、長期保存が可能。
仕様
特徴
- 水溶性洗浄剤(DW-S1):洗浄温度を60-70℃に設定し、超音波で洗浄します。或は、洗浄温度を80-90℃に設定し、浸漬で洗浄します。(但し、磨耗性が若干あり)
- オイル性洗浄剤(DW-Y1):温度設定はなく、洗浄可能です。水溶性洗浄剤より数倍のライフを持続できます。溶剤を使用して洗浄の必要があります。(アセトン、イソプロビルアルコール)
推奨使用条件
使用上の注意事項
- 洗浄剤を容器に入れて、洗浄に必要な温度まで加温した後、超音波・浸漬などいずれかの方法で洗浄を行います。
- 洗浄剤は、使用中に洗浄効果が少しずつ減少するため、全液交換、或は適正補給する。
用途
- サファイアの研磨加工、ポリッシュ後のワックス洗浄工程に使われます。